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JCMSuite應(yīng)用：光場通過六方晶胞的近場分析

時間:2022-08-11 13:02來源:訊技光電作者: 技術(shù)部點擊:次打印

這是一個簡單的二維光柵的例子，具有雙重周期(六方)晶格。三維單元晶胞在x和y平面上是周期性的。它包含兩個不同的菱形(平行六面體)，位于襯底上，被背景材料包圍。我們選擇了一個直角線單元晶胞(最小原始單元格)來避免結(jié)構(gòu)的計算域邊界的不利切割。案例中的材料選擇為鉻(菱形)，玻璃(基底)和空氣(背景材料)。

光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計算近場分布。下圖顯示了當波長為193nm時，平面波從襯底側(cè)垂直入射到結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場強度

S偏振光照明的場矢量

P偏振光照明的場矢量

后處理傅里葉變換計算透射衍射級次的振幅。

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