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JCMsuite應用：孤立線柵

時間:2023-03-27 20:31來源:訊技光電作者: 技術部點擊:次打印

這是一個一維孤立線光柵的簡單案例。設置與周期線光柵的案例相同，但代替周期性排列的線，現在使用單線。因此，二維計算域不再采用水平方向上的周期性邊界條件，而是采用水平和垂直方向上的透明邊界。

光柵被斜入射S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計算近場分布。下圖顯示了當波長為193nm時，平面波從襯底側垂直入射到結構內的近場強度

S偏振光照明的近場強度

P偏振光照明的近場強度

后處理傅里葉變換計算散射場在上半空間的傅里葉變換。

在實驗中，遠場通常由成像的光學裝置來收集。后處理光學成像允許描述一個通用光學成像系統。我們通過一個沒有像差的簡單2X放大工具來演示這一點。

PostProcess {

OpticalImaging {

InputFileName = "project_results/transmitted_fourier_transform.jcm"

OutputFileName = "project_results/image_fourier_transform.jcm"

OpticalSystem {

SpotMagnification = 2.0

}

輸出文件fourier_transform_image.jcm包含經過光學系統后的場的傅里葉變換。可以使用笛卡爾輸出后處理來計算相干圖像。下圖顯示了不同z方向切片的圖像(圖像平面沿z方向放置)，用于S偏振照明。

線光柵通過光學系統后的相干圖像(s偏振入射平面波)

線光柵通過光學系統后的相干圖像(p偏振入射平面波)

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